New perspectives on nano-engineering by secondary electron spectroscopy in the helium ion and scanning electron microscope

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spectroscopy in the helium ion and scanning electron microscope.

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Article:

Stehling, N.A., Masters, R., Zhou, Y. et al. (4 more authors) (2018) New perspectives on

nano-engineering by secondary electron spectroscopy in the helium ion and scanning

electron microscope. MRS Communications. ISSN 2159-6867

https://doi.org/10.1557/mrc.2018.75

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